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項目合作

華海清科項目

發(fā)布時間:2021.06.02 作者: 來源: 訪問人數(shù):6091

華海清科是國內(nèi)唯一一家能夠提供12寸CMP設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。公司核心團(tuán)隊由中國科學(xué)院院士雒建斌教授帶領(lǐng),以清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點實驗室為技術(shù)依托,研發(fā)經(jīng)驗豐富。公司目前擁有國內(nèi)外授權(quán)專利147項,軟件著作權(quán)5項,生產(chǎn)的CMP設(shè)備廣泛應(yīng)用于中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、英特爾、長鑫存儲、上海積塔等先進(jìn)集成電路制造商的大生產(chǎn)線中。

我司參股的石溪產(chǎn)恒基金于2020年3月對華海清科投資3000萬元,2020年10月,華海清科申報科創(chuàng)板。


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